UV lazerlarning uchta asosiy turi mavjud.
Diyotli pompalanadigan qattiq holat lazeri
Birinchisi, diodli nasosli qattiq holatdagi lazer (DPSS) Nd: YAG Q-Switch bo'lib, unda dublikatsiya kristallari 1064 nm infraqizil to'lqin uzunligini o'zgartirish va uni 355 nm ultrabinafsha to'lqin uzunligiga o'tkazish uchun ishlatiladi.
Nurning shakli Gaussdir, shuning uchun nuqta dumaloq bo'ladi va energiya intensivligi markazdan chetga qarab asta-sekin kamayadi. Nur 10 mkm gacha bo'lgan dog'larga qaratilishi mumkin.
Aslida, barcha qattiq holatda lazerlar kabi, bu ultrabinafsha lazerlar harorat o'zgarishiga sezgir.
Operatsiyaning yuqori takrorlanish tezligi va ular ishlaydigan juda kichik maydon bu lazerlarni mikro ishlov berish uchun eng mos qiladi.
Eksimer lazer
UV lazerning ikkinchi turi gaz lazeri, eksimer lazeridir. Ushbu lazerning to'lqin uzunligi ishlatiladigan gaz aralashmasi turiga bog'liq va 180 nm dan 300 nm gacha.
Yaratilgan nur dumaloq emas, balki ko'proq yoki kamroq doimiy intensivlik taqsimoti bilan to'rtburchaklar shaklga ega. Maskalar aniq nuqta geometriyalarini yaratish uchun ishlatilishi mumkin.
Metall bug 'lazeri
UV lazerining uchinchi turi metall bug 'lazeridir. Mis bug 'lazeri eng ko'p qo'llaniladi, ammo boshqa ko'plab metallarning bug'lari ham ishlatilishi mumkin.
Mis bug 'lazerlari 511 nm va 578 nm to'lqin uzunligida nurlanish hosil qiladi. Nurning shakli Gauss bo'lib, bu lazerni qattiq holatda ultrabinafsha lazer bilan bir xil ilovalar uchun mos qiladi.